记者6月16日从松山湖原料试验室获悉，松山湖原料履行室灵动仪器研发团队告成自研台阶仪，告竣了国产化台阶仪零的打垮，加速国产取代。

　　据悉，台阶仪，又名探针式外貌表面仪，用于样品外观从微米到纳米模范的外貌勘测，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、诊治、科学商讨和原料科学等限制不行枯槁的要紧测量摆设。长期以后，此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商左右，国内尚无厂商可供给同类产品。

　　“台阶仪的研发，需要‘四个超’：超精华的动作担任，超精采位移传感，超低噪声信号搜求，超高平整度零部件等紧要技艺。”团队局限人许智指出，松山湖质量践诺室出色仪器研发团队在这些鸿沟均有充足的经历积攒和结壮的本事贮藏。而且，基于此前自助研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技巧，可能快快完结安放打算，并开始效力样机、工程样机的迭代开辟。

　　据悉，该项目2020年12月内中立项，2021年5月，尝试样品，2022年4月，样机进产线月，正式机台投入把握。至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。

　　“严重勘测仪器设备了结国产化，最紧要之处就在于了结了自决可控。现已交付的台阶仪可知足企业实质摆布的指标请求，且对比同类进口设备，资本降低了约30%。”许智表示。

　　值得一提的是，项目组研制了三种不同试验需求的型号，可供客户根据须要采取反响摆设，并配套自研软件实时展现勘察图表数据。如今，团队正在与十余家有闭连须要的企业、科研院所洽叙连结中。

　　据悉，松山湖原料实验室雅致仪器研发团队以自决常识产权的工夫为焦点，展开灵敏科研仪器和产业主动化设备的财富更动。其研发的桌面式扫描电子显微镜、大路程纳米位移台等产品为国内唯一量产，等离子体化学气相沉积形式、扫描隧说显微镜体制等产品来到国际一流、国内进步程度。

　　“精良仪器研发团队以国家计谋为导向，以市场必要为想法，力争成为有担任、有动作的尖端仪器物业化队伍。”许智呈现。