位于广东东莞松山湖高新区的松山湖资料尝试室严密仪器研发团队此日奏凯自研台阶仪，实行了国产化台阶仪零的打破，加速国产取代。

　　台阶仪，又名探针式表面具体仪，用于样品皮相从微米到纳米圭臬的轮廓勘察，是微电子、半导体、诊治、科学商量和质料科学等规模不可贫乏的环节测量设备。长久从此，此类仪器被美国和日本厂商主持，国内尚无厂商可供应同类产品。

　　2020年，松山湖质料实习室周密仪器研发团队对台阶仪研发项目建议挑衅，2022年6月，正式机台参加左右。

　　“台阶仪研发据有‘四个超’——超紧密的步履承担，超严谨位移传感，超低噪声标志征采以及超高平展度零部件。这四个关节技能，杀青了台阶仪的整机开辟。”松山湖原料测验室缜密仪器研发团队担当人许智发挥，该仪器从摆布场景层面看，或许代替进口。

　　松山湖质料试验室严密仪器研发团队职掌人许智展现，国产化台阶仪匀称售价是进口产品的大概六到七成，不妨下降用户的采购资本。异日，团队还将推出更经济的型号，猜度售价为进口产品的一半驾驭。