科技日报北京6月4日电（记者马爱平）“针对光刻机等苛刻勘探遭遇中告竣多自由度干预勘测的需要，我们提出了基于棱镜缺点矢量明白的单体集成多轴干预仪组件设计手段，研发出从2轴到5轴的系列化单形式多轴干扰仪组件，突破了外洋企业的把持和对我国的出口限制。”4日，清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩告知记者。

　　激光干涉勘测是完毕超全面测控和微纳规范勘察的最有效门径之一。在国家强大科技专项“极大规模集成电路制作安装及成套工艺”（02专项）等项目支持下，由李岩等达成的“高测速多轴高辨认率激光干与测量技能与仪器”项目，争执一系列合键技巧瓶颈，形成了勘察新方法、形式及仪器。

　　李岩介绍，项目告竣了从干涉仪组件、旌旗探测解调到多自由度探测谋略遐想的全链条自研设备的高测疾、多轴大方程、高鉴别率激光干预勘察方式。

　　甩手方今，项目团队所研发的光刻机用双频激光干扰仪系统，操纵到大家国自研光刻机工件台样机研发进程中，累计应用50余台套，满意了光刻机双工件台样机的殷勤勘察需求，减轻了对海外高端干涉仪的依据，降低了其产品对所有人们国出口局部所变成的研发危害。

　　李岩说，比如项目开发的亚纳米辨别率可溯源外差过问仪，操纵到激光多维勘探体系洽商与修设的比对检定会商中，寻找了激光多维勘察系统非线性缺点起因，并用非常的电说加以纠正，进步了干系单位激光多维测量式样的功用，所提出的可溯源干涉测量新措施，为摩尔单位选取阿伏伽德罗常数从头定义作出了功勋。

　　“项方针成功，突破了外国对全部人国高端激光干涉勘探仪器的限度和独揽，为全班人国高端安装和仪器研发供给效力稳固且不受制于番邦的勘测及溯源才能，广泛了激光干涉勘探理论与技巧，具有格外首要的技巧、经济和社会成就。”李岩谈。