日从松山湖材料试验室获悉，松山湖质量演习室慎密仪器研发团队乐成自研台阶仪，竣工了国产化台阶仪零的突破，加速国产取代。

　　据悉，台阶仪，一名探针式外貌皮相仪，用于样品外表从微米到纳米法式的外表勘察，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、调治、科学商议和材料科学等畛域不成缺乏的合键勘探兴办。很久以来，此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商摆布，国内尚无厂商可供给同类产品。

　　“台阶仪的研发，必要‘四个超’：超周详的举动认真，超紧密位移传感，超低噪声灯号收集，超高平坦度零部件等枢纽技艺。”团队担任人许智指出，松山湖质地实践室精密仪器研发团队在这些边界均有深广的通过积蓄和踏实的身手储藏。而且，基于此前自立研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备身手，不妨快速已毕计算绸缪，并开端成绩样机、工程样机的迭代交战。

　　据悉，该项目2020年12月里面立项，2021年5月，尝试样品，2022年4月，样机进产线月，正式机台投入行使。至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。“关键勘测仪器设备杀青国产化，最合键之处就在于竣工了自决可控。现已交付的台阶仪可满意企业实践操纵的指标哀求，且对比同类进口征战，成本低落了约30%

　　值得一提的是，项目组研制了三种不同实验需要的型号，可供客户用命需要抉择相应铺排，并配套自研软件实时呈现测量图表数据。今朝，团队正在与十余家有关系须要的企业、科研院所洽路协作中。

　　据悉，松山湖质料操练室严紧仪器研发团队以自决常识产权的技能为主题，发展周到科研仪器和物业自动化交战的资产更改。其研发的桌面式扫描电子显微镜、大途途纳米位移台等产品为国内唯一量产，等离子体化学气相沉积体系、扫描隧途显微镜体系等产品达到国际一流、国内超越程度。

　　“精巧仪器研发团队以国家计谋为导向，以商场需要为方针，力求成为有担当、有举动的尖端仪器家产化队列。”许智表示。